플라즈마 식각기란 무엇입니까?
Aug 20, 2025
플라즈마 식각장치(Plasma Etcher)는 플라즈마 기술을 이용해 정밀 가공을 하는 장비이다. 플라즈마는 강한 화학적 반응성과 처리 능력을 지닌 고에너지 입자 가스입니다.- 플라즈마 식각기는 이러한 특성을 활용하여 마이크로- 및 나노 규모의 재료를 정밀하게 식각하거나 증착하여 복잡한 마이크로 장치를 만듭니다.
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